第一章 電子特氣行業概述
1.1 電子特氣相關界定
1.1.1 電子特氣的含義
1.1.2 電子特氣的分類
1.1.3 電子特氣的純度
1.2 電子特氣工藝分類
1.2.1 化學氣相沉積工藝
1.2.2 光刻工藝
1.2.3 刻蝕工藝
1.2.4 摻雜工藝
1.3 電子特氣工藝流程
1.3.1 氣體純化
1.3.2 氣體合成
1.3.3 空氣分離
1.3.4 氣體充裝
1.3.5 氣體混配
1.3.6 氣體檢測
1.3.7 氣瓶處理
第二章 2020-2022年全球電子特氣行業發展綜況
2.1 2020-2022年全球電子特氣發展現狀
2.1.1 市場發展規模
2.1.2 市場份額分布
2.1.3 企業競爭格局
2.1.4 企業營收情況
2.1.5 產業鏈條布局
2.1.6 應用領域分布
2.1.7 產品技術分析
2.2 2020-2022年美國電子特氣發展分析
2.2.1 市場相關政策
2.2.2 市場主體介紹
2.2.3 企業布局動態
2.2.4 市場發展困境
2.3 2020-2022年日本電子特氣發展分析
2.3.1 市場發展現狀
2.3.2 市場需求分析
2.3.3 市場主體介紹
2.3.4 企業營收情況
2.3.5 企業布局動態
2.3.6 出口管制施行
2.4 全球電子特氣企業發展路徑及經驗借鑒
2.4.1 設備制造+氣體服務齊頭并進
2.4.2 通過收購快速開拓國際市場
2.4.3 通過技術創新豐富產品結構
第三章 2020-2022年中國電子特氣行業發展環境
3.1 經濟環境
3.1.1 宏觀經濟概況
3.1.2 工業運行情況
3.1.3 固定資產投資
3.1.4 宏觀經濟展望
3.2 政策環境
3.2.1 行業主管部門
3.2.2 行業相關政策
3.2.3 行業支持政策
3.2.4 行業標準匯總
3.2.5 細分品類標準
3.2.6 區域政策動態
3.3 行業環境
3.3.1 工業氣體基本概述
3.3.2 工業氣體發展特點
3.3.3 工業氣體市場規模
3.3.4 工業氣體區域競爭
3.3.5 工業氣體競爭梯隊
3.3.6 工業氣體企業份額
3.3.7 工業氣體產品布局
3.3.8 工業氣體發展趨勢
第四章 2020-2022年中國電子特氣行業運行狀況
4.1 中國電子特氣行業產業鏈分析
4.1.1 產業鏈條分析
4.1.2 上游供應情況
4.1.3 下游應用結構
4.1.4 產業鏈企業布局
4.2 2020-2022年中國電子特氣市場發展狀況
4.2.1 行業發展歷程
4.2.2 市場發展地位
4.2.3 市場發展態勢
4.2.4 市場發展規模
4.2.5 市場供應模式
4.2.6 波特五力模型
4.3 2020-2022年中國電子特氣企業競爭情況
4.3.1 企業競爭優勢
4.3.2 企業競爭格局
4.3.3 主要企業介紹
4.3.4 企業產品布局
4.3.5 企業營收情況
4.3.6 市場地位對比
4.4 中國電子特氣行業技術發展狀況分析
4.4.1 電子特氣行業技術發展需求
4.4.2 電子特氣行業技術發展意義
4.4.3 典型電子特氣企業研發成果
4.4.4 高純含氟電子氣體國產化成功
4.4.5 高純氮氣“卡脖子”技術取得突破
4.5 中國電子特氣行業發展問題及建議
4.5.1 行業起步較晚
4.5.2 行業競爭加劇
4.5.3 國際貿易摩擦
4.5.4 技術存在短板
4.5.5 行業發展建議
第五章 2020-2022年中國電子特氣細分市場發展分析
5.1 清洗、蝕刻工藝特氣
5.1.1 三氟化氮（NF3）
5.1.2 四氟化碳（CF4）
5.1.3 六氟化硫（SF6）
5.1.4 六氟乙烷（C2F6）
5.1.5 八氟丙烷（C3F8）
5.1.6 八氟環丁烷（C4F8）
5.2 氧化/沉積工藝特氣
5.2.1 六氟化鎢（WF6）
5.2.2 氧化亞氮（N2O）
5.2.3 氨氣（NH3）
5.2.4 硅烷（SiH4）
5.2.5 鍺烷（GeH4）
5.3 氧化/沉積、離子注入、外延工藝特氣
5.3.1 磷烷（PH3）
5.3.2 砷烷（AsH3）
5.3.3 乙硼烷（B2H6）
5.4 其他電子特氣
5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2 羰基硫（COS）
5.4.3 三氟化硼（BF3）
5.4.4 硒化氫（SeH2）
第六章 2020-2022年中國電子特氣行業下游應用領域分析
6.1 半導體行業
6.1.1 半導體行業發展綜述
6.1.2 半導體材料國產化
6.1.3 電子特氣制程介紹
6.1.4 電子特氣應用情況
6.1.5 電子特氣應用規模
6.1.6 電子特氣應用需求
6.1.7 電子特氣應用前景
6.2 LED行業
6.2.1 LED行業發展綜述
6.2.2 電子特氣應用情況
6.2.3 電子特氣應用前景
6.3 LCD行業
6.3.1 LCD行業發展綜述
6.3.2 電子特氣制程介紹
6.3.3 電子特氣應用現狀
6.3.4 電子特氣具體應用
6.3.5 電子特氣應用前景
6.4 太陽能電池行業
6.4.1 太陽能電池發展概述
6.4.2 電子特氣制程介紹
6.4.3 電子特氣應用情況
6.4.4 電子特氣應用規模
第七章 2020-2022年國外電子特氣行業重點企業經營情況
7.1 美國空氣化工產品
7.1.1 企業發展概況
7.1.2 企業業務介紹
7.1.3 企業產品布局
7.1.4 企業技術創新
7.1.5 2020年企業經營狀況分析
7.1.6 2021年企業經營狀況分析
7.1.7 2022年企業經營狀況分析
7.2 林德集團
7.2.1 企業發展歷程
7.2.2 企業業務介紹
7.2.3 企業產品布局
7.2.4 企業技術創新
7.2.5 2020年企業經營狀況分析
7.2.6 2021年企業經營狀況分析
7.2.7 2022年企業經營狀況分析
7.3 法國液空集團
7.3.1 企業發展歷程
7.3.2 企業業務介紹
7.3.3 企業產品布局
7.3.4 工業網路組織
7.3.5 企業發展戰略
7.3.6 2020年企業經營狀況分析
7.3.7 2021年企業經營狀況分析
7.3.8 2022年企業經營狀況分析
7.4 日本酸素公司
7.4.1 企業發展概況
7.4.2 企業功能擴展
7.4.3 企業基礎技術
7.4.4 企業銷售情況
7.4.5 2020年企業經營狀況分析
7.4.6 2021年企業經營狀況分析
7.4.7 2022年企業經營狀況分析
7.5 日本昭和電工株式會社
7.5.1 企業發展概況
7.5.2 企業業務介紹
7.5.3 企業產品布局
7.5.4 企業項目動態
7.5.5 2020年企業經營狀況分析
7.5.6 2021年企業經營狀況分析
7.5.7 2022年企業經營狀況分析
7.6 其他企業
7.6.1 太陽日酸
7.6.2 關東電化
7.6.3 艾迪科
第八章 2019-2022年中國電子特氣行業重點企業經營情況
8.1 廣東華特氣體股份有限公司
8.1.1 企業發展概況
8.1.2 企業發展歷程
8.1.3 企業經營現狀
8.1.4 特氣營收情況
8.1.5 企業業務模式
8.1.6 企業業務布局
8.1.7 企業技術發展
8.1.8 企業項目布局
8.2 蘇州金宏氣體股份有限公司
8.2.1 企業發展概況
8.2.2 企業發展歷程
8.2.3 企業工藝介紹
8.2.4 企業經營現狀
8.2.5 特氣營收情況
8.2.6 企業產能規模
8.2.7 企業產品布局
8.2.8 企業技術發展
8.3 江蘇雅克科技股份有限公司
8.3.1 企業發展概況
8.3.2 企業發展歷程
8.3.3 企業經營現狀
8.3.4 電子特氣營收
8.3.5 企業產品布局
8.3.6 細分產品介紹
8.3.7 企業項目動態
8.4 江蘇南大光電材料股份有限公司
8.4.1 企業發展概況
8.4.2 企業發展歷程
8.4.3 企業經營現狀
8.4.4 特氣營收情況
8.4.5 特氣布局分析
8.4.6 企業產品布局
8.4.7 企業研發投入
8.5 昊華化工科技集團股份有限公司
8.5.1 企業發展概況
8.5.2 企業發展歷程
8.5.3 企業經營現狀
8.5.4 特氣營收情況
8.5.5 企業產能規模
8.5.6 企業產品布局
8.5.7 企業研發投入
8.6 湖南凱美特氣體股份有限公司
8.6.1 企業發展概況
8.6.2 企業發展歷程
8.6.3 企業競爭優勢
8.6.4 企業經營現狀
8.6.5 氣體營收分布
8.6.6 產品銷售情況
8.6.7 特氣布局分析
8.6.8 企業產品布局
8.6.9 企業研發投入
8.6.10 企業項目動態
8.7 湖北和遠氣體股份有限公司
8.7.1 企業發展概況
8.7.2 企業經營現狀
8.7.3 電子特氣營收
8.7.4 電子特氣供應
8.7.5 企業研發投入
8.7.6 企業項目動態
8.8 其他企業
8.8.1 杭氧股份
8.8.2 巨化股份
8.8.3 正帆科技
8.8.4 派瑞特氣
8.8.5 博純材料
8.8.6 綠菱公司
8.8.7 硅烷科技
8.8.8 同輝氣體
8.8.9 太和氣體
第九章 2020-2022年中國電子特氣行業投資分析
9.1 2020-2022年中國電子特氣行業投融資狀況
9.1.1 行業投資現狀
9.1.2 企業融資動態
9.1.3 企業戰略合作
9.1.4 項目投資布局
9.1.5 行業投資機遇
9.2 中國電子特氣行業投資進入壁壘
9.2.1 技術壁壘
9.2.2 客戶壁壘
9.2.3 服務壁壘
9.2.4 資金壁壘
9.2.5 資質壁壘
9.3 中國電子特氣行業投資風險及策略
9.3.1 行業投資風險
9.3.2 行業投資策略
9.3.3 項目投資建議
第十章 中國電子特氣行業典型項目投資建設深度解析
10.1 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目
10.1.1 項目基本情況
10.1.2 項目投資價值
10.1.3 項目投資優勢
10.1.4 項目實施主體
10.1.5 項目建設周期
10.1.6 項目投資概算
10.1.7 項目經濟效益
10.2 南大光電三氟化氮生產裝置項目
10.2.1 項目基本情況
10.2.2 項目投資內容
10.2.3 項目投資價值
10.2.4 項目建設周期
10.2.5 項目投資概算
10.2.6 產能消化空間
10.2.7 項目經濟效益
10.2.8 項目備案進展
10.3 正帆科技氣體擴產項目
10.3.1 項目基本情況
10.3.2 項目投資可行性
10.3.3 項目建設主體
10.3.4 項目建設周期
10.3.5 項目投資概算
10.3.6 項目環保措施
10.4 金宏氣體集成電路用高純氣體項目
10.4.1 項目基本情況
10.4.2 項目投資背景
10.4.3 項目建設方案
10.4.4 主要設備配置
10.4.5 項目物料及能源供應
10.4.6 項目環境影響及設施
10.4.7 項目組織方式和實施進展
10.4.8 項目投資概算及財務評價
第十一章 2022-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及前景預測
11.1 中國電子特氣行業未來發展趨勢
11.1.1 行業發展機遇
11.1.2 行業發展趨勢
11.1.3 國產替代趨勢
11.2  2022-2028年中國電子特氣行業預測分析
11.2.1 2022-2028年中國電子特氣行業影響因素分析
11.2.2 2022-2028年中國電子特氣市場規模預測
圖表目錄
圖表 不同線寬下對應特氣所含顆粒雜質要求
圖表 三種分離方法比較
圖表 化學氣相沉積工藝中電子氣體的使用流程
圖表 光刻工藝中電子氣體的使用流程
圖表 刻蝕工藝中電子氣體的使用流程
圖表 刻蝕機中輝光放電原理
圖表 離子注入工藝流程
圖表 離子注入機之磁分析器結構簡圖
圖表 離子注入機設備結構簡圖
圖表 電子氣體純度要求
圖表 氣體純化工藝流程圖
圖表 氣體合成工藝流程圖（以高純氫為例）
圖表 空氣分離工藝流程圖資
圖表 氣體充裝工藝流程圖
圖表 氣體混配工藝流程圖
圖表 氣體檢驗工藝流程圖
圖表 氣瓶處理工藝流程圖
圖表 全球電子氣體市場規模
圖表 2020全球電子氣體細分市場格局
圖表 2020年全球電子特氣市場格局
圖表 全球電子特種氣體知名企業
圖表 2020年全球各公司特氣業務營收
圖表 海外電子氣體產業鏈
圖表 2020年全球電子特氣行業下游應用結構
圖表 海外電子特氣廠商產品技術情況
圖表 日本主要電子特氣需求量及增速
圖表 工業氣體龍頭的發展路徑
圖表 林德集團的收購事件
圖表 空氣化工的技術、產品和市場
圖表 2015-2020年國內生產總值及其增長速度
圖表 2015-2020年三次產業增加值占國內生產總值比重
圖表 2015-2020年萬元國內生產總值能耗降低率
圖表 2016-2021年國內生產總值及其增長速度
圖表 2016-2021年三次產業增加值占國內生產總值比重
圖表 2021年GDP初步核算數據
圖表 2020年各月累計營業收入與利潤總額同比增速
圖表 2020年規模以上工業企業主要財務指標（分行業）
圖表 2016-2021年全部工業增加值及增長速度
圖表 2021年主要工業產品產量及其增長速度
圖表 2020-2021年規模以上工業增加值同比增長速度
圖表 2021年規模以上工業生產主要數據
圖表 2020年中國固定資產投資（不含農戶）同比增速
圖表 2020年中國固定資產投資（不含農戶）主要數據
圖表 2021年三次產業投資占固定資產投資（不含農戶）比重
圖表 2021年分行業固定資產投資（不含農戶）增長速度
圖表 2020-2021年我國固定資產投資（不含農戶）同比增速
圖表 2021年固定資產投資（不含農戶）主要數據
圖表 電子特氣行業主管部門
圖表 2009-2021年電子特氣行業的相關國家政策
圖表 2017-2020年中國重點新材料目錄-特種氣體入選數量
圖表 《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2020年版）》-電子特氣入選目錄明細
圖表 2005-2021年電子特種氣體國際標準
圖表 2008-2021年電子特種氣體國家標準
圖表 現行有效制冷劑標準（含氟氣體相關）現行有效制冷劑標準（含氟氣體相關）
圖表 現行有效制冷劑標準（含氟氣體相關）
圖表 現行有效六氟化硫相關標準（除設備類標準）
圖表 現行有效其他含氟氣體標準
圖表 工業氣體的用途
圖表 中國工業氣體行業的周期性和區域性
圖表 2014-2021年中國工業氣體市場規模
圖表 中國工業氣體行業企業按區域分布情況
圖表 2021年中國工業氣體行業競爭梯隊（按相關營收劃分）
圖表 2021年國內工業氣體行業主要企業市場占比
圖表 2021年中國氣體行業知名品牌
圖表 電子特氣產業鏈
圖表 電子氣體行業上游原材料和設備情況
圖表 2021年中國電子特氣應用市場結構
圖表 電子特氣行業產業鏈企業圖譜
圖表 電子特氣行業發展歷程
圖表 電子特氣是氣體行業的重要分支
圖表 2013-2021年中國電子特種氣體市場規模及增速
圖表 電子氣體行業供氣經營業務模式特點
圖表 電子氣體行業供應模式與要點
圖表 TGCM一站式服務模式
圖表 電子氣體行業五力模型
圖表 林德集團在我國工廠分布較為分散
圖表 林德集團向我國供應原材料耗時較長
圖表 2020年我國電子特氣市場格局
圖表 國內主要電子氣體公司產品
圖表 八大國內電子氣體供應商對比
圖表 八大國內電子氣體供應商對比（續）
圖表 2020年國內外主要電子氣公司業績表
圖表 2018-2021年全球NF3市場需求
圖表 2015-2021年國內NF3市場需求
圖表 三氟化氮主要公司產能
圖表 國內四氟化碳需求
圖表 四氟化碳主要公司產能
圖表 六氟化硫主要公司產能
圖表 六氟乙烷主要公司產能
圖表 八氟丙烷主要公司產能
圖表 八氟環丁烷主要公司產能
圖表 2014-2020年全球六氟化鎢市場消費量
圖表 六氟化鎢主要公司產能
圖表 氧化亞氮主要公司產能
圖表 高純氨器主要公司產能
圖表 硅烷主要公司產能
圖表 鍺烷主要公司產能
圖表 磷烷主要公司產能
圖表 砷烷主要公司產能
圖表 乙硼烷主要公司產能
圖表 六氟丁二烯主要公司產能
圖表 羰基硫主要公司產能
圖表 三氟化硼主要公司產能
圖表 硒化氫主要公司產能
圖表 2000-2021年全球半導體市場規模及增速
圖表 2015-2021年中國集成電路市場規模及增速
圖表 2010-2021年全球半導體兼并和收購案金額
圖表 半導體材料國產化情況
圖表 集成電路制造工藝流程
圖表 常見的氣相沉積氣體
圖表 常見的刻蝕氣體
圖表 常見的摻雜氣體
圖表 2020-2025年特種電子氣體芯片用市場規模
圖表 2009-2021年邏輯芯片和存儲芯片銷售額占集成電路比例較高
圖表 半導體晶圓制造各環節用到的特種氣體用途及用量
圖表 半導體晶圓制造各環節用到的特種氣體用途及用量（續）
圖表 2015-2021年全球晶圓產能轉移
圖表 我國主要晶圓廠商在建產能情況
圖表 2016-2021年中國LED照明行業市場規模滲透率
圖表 LED生產流程
圖表 LED生產外延片制造和芯片制程
圖表 全球面板產業發展簡史
圖表 中國面板產業發展歷程
圖表 1999-2021年全球LCD產能區域結構分布情況
圖表 TFT-LCD制造流程
圖表 TFT干刻氣體選擇
圖表 顯示面板快速迭代將推升下游電子特氣需求
圖表 太陽能電池的分類
圖表 太陽能電池制程介紹
圖表 2020-2021年中國太陽能電池產量
圖表 空氣化工發展歷程
圖表 空氣化工電子領域業務概況
圖表 美國空氣化工產品氣體種類及應用領域
圖表 空氣化工創新性技術
圖表 2018-2020年美國空氣化工產品有限公司綜合收益表
圖表 2018-2020年美國空氣化工產品有限公司分部資料
圖表 2018-2020年美國空氣化工產品有限公司收入分地區資料
圖表 2019-2021年美國空氣化工產品有限公司綜合收益表
圖表 2019-2021年美國空氣化工產品有限公司分部資料
圖表 2019-2021年美國空氣化工產品有限公司收入分地區資料
圖表 2020-2021年美國空氣化工產品有限公司綜合收益表
圖表 2020-2021年美國空氣化工產品有限公司分部資料
圖表 2020-2021年美國空氣化工產品有限公司收入分地區資料
圖表 林德集團發展歷程
圖表 林德集團電子領域產品概況
圖表 林德集團氣體種類及應用領域
圖表 林德集團四大突破性技術
圖表 2018-2020年林德集團綜合收益表
圖表 2018-2020年林德集團分部資料
圖表 2018-2020年林德集團收入分地區資料
圖表 2019-2021年林德集團綜合收益表
圖表 2019-2021年林德集團分部資料
圖表 2019-2021年林德集團收入分地區資料
圖表 2020-2021年林德集團綜合收益表
圖表 2020-2021年林德集團分部資料
圖表 2020-2021年林德集團收入分地區資料
圖表 液化空氣發展歷程
圖表 液化空氣電子領域業務概況
圖表 法國液空電子材料種類及應用領域
圖表 液化空氣高效的工業網絡組織
圖表 液化空氣四大戰略支柱
圖表 2018-2020年法國液空集團綜合收益表
圖表 2018-2020年法國液空集團分部資料
圖表 2018-2020年法國液空集團收入分地區資料
圖表 2019-2021年法國液空集團綜合收益表
圖表 2019-2021年法國液空集團分部資料
圖表 2019-2021年法國液空集團收入分地區資料
圖表 2020-2021年法國液空集團綜合收益表
圖表 2020-2021年法國液空集團分部資料
圖表 2020-2021年法國液空集團收入分地區資料
圖表 日本酸素業務概況
圖表 日本酸素三大業務領域和五大業務板塊
圖表 日本酸素擴展五大功能
圖表 日本酸素以空分氣體為中心的工業氣體業務流程
圖表 日本酸素的全球化銷售網絡
圖表 2018-2020年日本酸素公司綜合收益表
圖表 2018-2020年日本酸素公司分部資料
圖表 2018-2020年日本酸素公司收入分地區資料
圖表 2019-2021年日本酸素公司綜合收益表
圖表 2019-2021年日本酸素公司分部資料
圖表 2019-2021年日本酸素公司收入分地區資料
圖表 2020-2021年日本酸素公司綜合收益表
圖表 2020-2021年日本酸素公司分部資料
圖表 2020-2021年日本酸素公司收入分地區資料
圖表 昭和電工業務概況
圖表 昭和電工半導體材料種類及應用領域
圖表 2018-2020年昭和電工株式會社綜合收益表
圖表 2018-2020年昭和電工株式會社分部資料
圖表 2018-2020年昭和電工株式會社收入分地區資料
圖表 2019-2021年昭和電工株式會社綜合收益表
圖表 2019-2021年昭和電工株式會社分部資料
圖表 2019-2021年昭和電工株式會社收入分地區資料
圖表 2020-2021年昭和電工株式會社綜合收益表
圖表 2020-2021年昭和電工株式會社分部資料
圖表 2020-2021年昭和電工株式會社收入分地區資料
圖表 日本太陽日酸發展歷史
圖表 日本太陽日酸氣體種類及應用領域
圖表 關東化工氣體種類及應用領域
圖表 艾迪科半導體材料種類及應用領域
圖表 華特氣體發展歷程
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年廣東華特氣體股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年廣東華特氣體股份有限公司運營能力指標
圖表 2016-2021年華特氣體分業務營業收入占比
圖表 華特氣體按產品分收入結構
圖表 華特氣體業務模式及主要客戶
圖表 華特氣體產品情況
圖表 華特氣體核心技術及優勢
圖表 2016-2021年華特氣體研發支出趨勢
圖表 公司主要特氣產能及募投產能情況
圖表 金宏氣體歷史沿革
圖表 金宏氣體七大工藝
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年蘇州金宏氣體股份有限公司運營能力指標
圖表 2021年金宏氣體營收占比
圖表 金宏氣體部分產品國內市場份額
圖表 金宏氣體特氣產能及規劃
圖表 金宏氣體主要氣體產品
圖表 金宏氣體核心技術對比
圖表 2016-2021年金宏氣體研發趨勢
圖表 雅克科技發展歷程
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年江蘇雅克科技股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年江蘇雅克科技股份有限公司運營能力指標
圖表 雅克科技特種氣體客戶
圖表 2021年雅克科技營收構成
圖表 雅克科技產品構成
圖表 雅克電子特氣解析
圖表 雅克科技主要產品產能情況
圖表 南大光電歷史沿革
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年江蘇南大光電材料股份有限公司運營能力指標
圖表 2021年南大光電營收占比
圖表 飛源特氣客戶情況
圖表 南大光電特氣產能情況
圖表 南大光電氣體產品
圖表 2016-2021年南大光電研發趨勢
圖表 昊華科技發展歷程
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年昊華化工科技集團股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年昊華化工科技集團股份有限公司運營能力指標
圖表 2021年昊華科技主營業務占比
圖表 昊華科技特氣產能擴張規劃
圖表 昊華科技氣體產品線
圖表 昊華科技氣體擴產
圖表 2018-2021年昊華科技研發趨勢
圖表 凱美特氣歷史沿革
圖表 凱美特氣力求實現電子特氣原料、生產、包裝、檢測完整產業閉環
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年湖南凱美特氣體股份有限公司運營能力指標
圖表 2021年凱美特氣營收占比
圖表 2020-2021年凱美特氣電子特氣銷售情況
圖表 凱美特氣子公司及產品布局
圖表 2016-2021年凱美特氣研發趨勢
圖表 凱美特氣第一期電子特氣產品
圖表 和遠氣體歷史沿革
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司營業收入及增速
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司凈利潤及增速
圖表 2019-2021年湖北和遠氣體股份有限公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年湖北和遠氣體股份有限公司運營能力指標
圖表 2021年和遠氣體營收占比
圖表 和遠氣體產品與供應布局
圖表 和遠氣體核心技術
圖表 2016-2021年和遠氣體研發趨勢
圖表 杭氧股份產品線
圖表 杭氧股份6大供氣模式
圖表 巨化股份產品線
圖表 巨化股份電子級氣體
圖表 正帆科技歷史沿革
圖表 正帆科技業務布局
圖表 正帆科技高純特氣產品
圖表 正帆科技下游客戶
圖表 2021年正帆科技營收構成
圖表 派瑞特氣現有產能及規劃產
圖表 博純材料主要產品現有及擬在建產能
圖表 綠菱公司歷史沿革
圖表 綠菱公司產線及純度
圖表 硅烷科技硅烷產品現有及擬在建產能
圖表 同輝氣體主要產品現有及擬在建產能
圖表 太和氣體主要產品現有及擬在建產能
圖表 大基金二期細化情況梳理
圖表 成都科美特擁有的技術儲備
圖表 成都科美特擁有的技術儲備（續）
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目建設周期
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目投資明細
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目未來盈利情況
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目營業收入預測
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目成本費用測算
圖表 雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目經濟效益測算
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目總體投資明細
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目基建投資明細
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目設備投資明細
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目收入預測
圖表 2017-2021年南大光電三氟化氮平均價格
圖表 南大光電三氟化氮產品銷售收入預測
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目利潤預測
圖表 南大光電三氟化氮生產裝置項目利潤預測（續）
圖表 正帆科技氣體擴產項目實施周期及投資進度
圖表 正帆科技氣體擴產項目投資明細
圖表 金宏氣體集成電路用高純氣體項目新增設備
圖表 金宏氣體集成電路用高純氣體項目年燃料動力消耗
圖表 金宏氣體集成電路用高純氣體項目建設周期
圖表 金宏氣體集成電路用高純氣體項目投資估算
圖表 2020年部分地區半導體相關布局
圖表 國內特種氣體公司已實現進口替代的產品